日本理学株式会社近日宣布其自主研发的XTRAIA XD-3300高分辨率微点X射线衍射系统正式投入量产。该系统专为芯片制造市场设计，能够对晶圆上微型焊盘的超晶格结构进行无损检测，具有行业领先的分辨率。

该设备采用理学独创的X射线光学系统，结合超高性能反射镜和弯曲晶体技术，使测量速度较前代产品提升100倍。公司表示："以往需要数小时的衍射测量，现在仅需几分钟即可完成。"系统配套的先进分析软件可精确评估多层超晶格结构的周期性和边界表面质量。

作为理学控股集团旗下企业，理学株式会社从X射线光学系统到探测器和衍射软件均实现自主设计和制造。XTRAIA XD-3300的量产将满足半导体行业对精密测量设备日益增长的需求。