通快TruMicro紫外飞秒激光器亮相光博会助力半导体先进封装
2026-02-10 13:44
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通快公司将在2026年3月18日至20日举办的慕尼黑上海光博会上展示其TruMicro系列超短脉冲激光器及相关应用方案,展位位于中国新国际博览中心N2馆2406号。该系列产品曾获得德国未来奖,技术覆盖从研发到量产的完整链条,目前已获多家面板与半导体行业主要企业的量产应用认可。

通快TruMicro 6320紫外飞秒激光器专为持续生产设计,在量产级紫外飞秒激光器中拥有较高的市场出货量。该设备通过稳定的高功率输出、超短脉宽及紫外倍频技术,能够显著降低加工热影响,实现无崩边效果,适用于晶圆表面划片与先进封装材料的精密切割,有助于提升生产效率和产品良率。
通快在能量输出控制方面具备技术优势,其智能调控策略可在时域上实现优化能量分布,例如在数十纳秒内激发多个脉冲以利用能量叠加提升加工效率。同时结合光束整形技术,能够将激光能量转换为特定工艺所需的光斑形态。例如在玻璃芯封装基板加工中,可将光斑调整为细长针状,从而在玻璃表面加工出纳米级孔洞,保证工艺的稳定性和重复性。
TruMicro系列基于光纤、碟片及板条放大等多种激光技术平台,具备良好的可扩展性,能够适应市场与客户不断变化的需求。通快还提供多种波长转换模块,包括可将红外飞秒激光转换为绿光、紫外及深紫外的倍频模块,结合脉宽压缩与高次谐波模块,可产生13.5纳米极紫外光,适用于晶圆检测、光掩模检测等前沿领域。
通快邀请行业人士于3月18日至20日光临上海新国际博览中心,参观N2馆2406展位,共同探讨半导体先进封装中激光加工技术的更多应用可能。
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